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检漏仪维护注意事项1、如果仪器不每天使用,建议每周开机检查,保持仪器高真空系统的真空度,缩短仪器使用时的开机时间 2、仪表元件(如离子源)拆除后,在安装过程中应避免安装部位的泄漏,仪表可用于自检漏。 3、及时对仪表可能出现的泄漏(如放空阀等)进行自检漏。及时清理或拧紧泄漏点,避免干扰检漏工作。 4、每隔一次维护一次油泵。(散热器粉尘处理及泵油检查更换) 5、严禁在检漏仪上,特别是在进风口上滴洒异物。因为氦检漏仪是高精度的 |